1. Laadimine
Asetage kaetud kvartstiigel soojusvahetuslauale, lisage räni tooraine, seejärel paigaldage kütteseadmed, isolatsiooniseadmed ja ahju kate, tühjendage ahi, et vähendada rõhku ahjus 0,05-0,1 mbarni ja säilitada vaakum. Sisestage argooni kaitsegaasina, et hoida rõhk ahjus põhimõtteliselt umbes 400-600 mbar.
2. Küte
Kasutage ahju korpuse soojendamiseks grafiitküttekeha, aurustage esmalt grafiitdetailide, isolatsioonikihi, räni toorainete jms pinnale adsorbeerunud niiskus ning seejärel soojendage aeglaselt, et kvartstiigli temperatuur jõuaks umbes 1200-1300 kraadini.℃. See protsess võtab aega 4-5 tundi.
3. Sulamine
Sisestage argooni kaitsegaasina, et hoida rõhk ahjus põhimõtteliselt umbes 400-600 mbar. Suurendage järk-järgult kuumutusvõimsust, et kohandada tiigli temperatuuri umbes 1500-ni℃, ja räni tooraine hakkab sulama. Hoidke umbes 1500℃sulamisprotsessi ajal kuni sulamise lõpuni. See protsess võtab umbes 20-22 tundi.
4. Kristallide kasv
Pärast räni tooraine sulamist vähendatakse küttevõimsust, et tiigli temperatuur langeks umbes 1420-1440 kraadini.℃, mis on räni sulamistemperatuur. Seejärel liigub kvartstiigel järk-järgult allapoole või isolatsiooniseade tõuseb järk-järgult, nii et kvartstiigel väljub aeglaselt kuumutustsoonist ja moodustab ümbritsevaga soojusvahetuse; samal ajal lastakse vesi läbi jahutusplaadi, et alandada sulandi temperatuuri põhjast, ja kõigepealt tekib põhjas kristalne räni. Kasvuprotsessi ajal jääb tahke-vedeliku liides alati paralleelseks horisontaaltasapinnaga, kuni kristallide kasv on lõppenud. See protsess võtab umbes 20-22 tundi.
5. Lõõmutamine
Pärast kristallide kasvu lõppu võib kristalli põhja ja ülaosa vahelise suure temperatuurigradiendi tõttu valuplokis tekkida termiline pinge, mida on räniplaadi kuumutamisel ja aku ettevalmistamisel kerge uuesti murda. . Seetõttu hoitakse räni valuplokki pärast kristallide kasvu lõppemist sulamistemperatuuri lähedal 2–4 tundi, et muuta räni valuploki temperatuur ühtlaseks ja vähendada termilist pinget.
6. Jahutamine
Pärast räni valuploki ahjus lõõmutamist lülitage küttevõimsus välja, tõstke soojusisolatsiooniseade üles või langetage räni valuplokk täielikult alla ja sisestage ahju suur argoongaasi vool, et järk-järgult alandada räni valuploki temperatuur lähedale. toatemperatuur; samal ajal tõuseb gaasirõhk ahjus järk-järgult, kuni see jõuab atmosfäärirõhuni. See protsess võtab aega umbes 10 tundi.
Postitusaeg: 20. september 2024
